Pretraživanje
hrŠto je Safir Wafer zapravo
Safirna pločica je tanki disk od monokristalnog aluminijevog oksida koji je usmjeren prema kristalografskoj ravnini, izrezan iz uzgojenog bula, izrezan na kriške, preklopljen i poliran do kontrolirane debljine, ravnosti i završne obrade površine.
Safir nije ni staklo ni premaz. To je kristalni Al2O3, materijal korunda, zbog čega gotova pločica kombinira Mohsovu tvrdoću 9 s propusnim opsegom od blizu 8,6 eV i korisnim prijenosom od otprilike 0,19 do 5,5 mikrometara.
Orijentacija je prva odluka na svakom crtežu, jer se njome utvrđuje što se može rasti na površini i kako se pločica ponaša pod toplinskim opterećenjem.
- c-ravnina (0001): zadana za GaN LED i microLED epitaksiju, gdje heksagonalna površina odgovara epilaju.
- r-ravnina: koristi se za silicij na safiru, gdje se tanki silicijski film taloži heteroepitaksijalno.
- a-ravnina i m-ravnina: nepolarne istraživačke orijentacije, dostupne, ali ih je teže ispolirati do iste hrapavosti.
- Isječak: 0,2 stupnja prema a-osi je uobičajeni MOCVD zahtjev, dok se 4 stupnja pojavljuje u specifičnom radu uređaja. Čvrsto držite toleranciju, jer zanošenje otkosa mijenja strukturu koraka tijekom rasta.
Promjer i debljina putuju zajedno. Uobičajene veličine su 50,8 mm, 100 mm, 150 mm i 200 mm, s debljinom koja raste od oko 430 mikrometara na 2 inča do 650 na 4 inča i iznad 1 mm na 6 inča, jednostavno zato što tanki disk krhkog kristala neće preživjeti rutinsko rukovanje.
Safirne pločice uobičajenih promjera i debljina Pregledajte opcije monokristalnih safirnih ploča od 2 do 8 inča, sa specifikacijama debljine, površine i ravnosti za optoelektroničke i LED podloge. Pogledajte proizvod → Od Boulea do Epi-Ready Wafera
Safirne pločice se proizvode u šest faza, a svaka faza ostavlja otisak prsta u certifikatu koji se isporučuje uz seriju.
Specifikacije koje odlučuju o prinosu
Četiri broja odlučuju o većini odluka o prihvaćanju: ukupna varijacija debljine, luk i osnova, hrapavost prednje strane i tolerancija orijentacije. Sve ostalo na crtežu podržava ta četiri.
| Parametar | Epi i LED razred | Optički stupanj | Dokazi za traženje |
| Orijentacija i odsjek | c-ravnina s odsjekom od 0,2 stupnja | c-ravni ili po crtežu | X-ray difrakcijski pregled |
| Promjer | 100 mm plus ili minus 0,2 mm | Po crtežu | Rubna mapa čipova |
| Debljina | 650 mikrometara plus ili minus 25 | 1 mm do 5 mm | Debljina map across the wafer |
| Ukupna varijacija debljine | 10 mikrometara ili manje | 2 mikrometra iznad otvora | Vrsta sonde i područje skeniranja |
| Luk i osnova | 25 mikrometara ili manje | Četvrtvalna spljoštenost | Metoda učvršćenja i potpore |
| Hrapavost prednje strane | Ra 0,2 nm, spreman za epi | Ra 1 nm ili bolje | Veličina AFM skeniranja |
| Završna obrada stražnje strane | Ugravirano ili polirano | Fino tlo | Završetak naveden na certifikatu |
| Rubni profil | Okruglo brušeno sa skošenjem i usjekom | Polirani rub | Fotografija orijentacije usjeka |
Safir, silicij i kvarc rame uz rame
Safir je supstrat koji treba izabrati kada pločica mora preživjeti toplinu, kemiju ili svjetlost, a ne kada mora provoditi struju.
- Temperature rasta iznad 1000 C isključuju polimerne nosače i niskokvalitetno staklo.
- Površina mora ostati prozirna od vidljivog do srednjeg infracrvenog.
- Kemijska otpornost i otpornost na ogrebotine važniji su od cijene po kvadratnom centimetru.
- Uređaj treba izolacijsku podlogu s malim gubicima na radiofrekvenciji.
- Sama pločica mora nositi struju, gdje je silicij jednostavniji i daleko jeftiniji.
- Potreban je duboki ultraljubičasti prijenos ispod 190 nm, gdje safir apsorbira.
- Širenje topline je ograničavajući čimbenik u nizu velike snage.
- Proračun ne može apsorbirati podlogu koja je nekoliko puta skuplja od silikonske pločice istog promjera.
Termalni broj je taj koji iznenađuje dizajnerske timove. Safir provodi toplinu oko četiri puta lošije od silicija i otprilike dvadeset pet puta bolje od topljenog kvarca, što je izvodljivo za jedan emiter niske snage, a bolno za gust niz velike snage. To jedno svojstvo pokreće velik dio interesa za podloge s uzorkom, prijenos tankog filma i lijepljenje pločica.
Kvarcne ploče za optičke i poluvodičke primjene Usporedite kvarcne pločice visoke čistoće s malim toplinskim širenjem i UV-NIR prozirnošću za valovode, MEMS, poluvodiče i optičke komponente. Pogledajte proizvod → Gdje Sapphire Wafers zarađuju svoju cijenu
Sapphire podloge se isplaćuju u četiri skupine aplikacija, svaka s različitom dominantnom specifikacijom.
GaN LED i microLED epitaksija
Dva do šest inča c-ravnine pločice nose hrpu koja emitira svjetlost. Kontrola rezova i hrapavost prednje strane utječu na kvalitetu kristala, a time i na vanjsku kvantnu učinkovitost, više od bilo kojeg drugog ulaznog parametra.
Radiofrekvencija i silicij na safiru
Izolacijski supstrat smanjuje parazitski kapacitet u sklopkama i filterima. Ovdje crtežom dominira ujednačenost debljine i ravnost površine, a ne optički prijenos.
Optički prozori i poklopci senzora
Safir prenosi iz vidljivog do oko 5,5 mikrometara i otporan je na grebanje u abrazivnim okruženjima, pa se pojavljuje u infracrvenim prozorima, LiDAR poklopcima i ojačanim priključcima za kameru. Raspon primjene safirne pločice u elektronici i optici daleko nadilazi rasvjetu.
Nosač i lažne napolitanke
Visokotemperaturni procesi ponovno koriste nosače od safira jer materijal ne omekšava niti ispušta plin. Ponovno poliranje produljuje životni vijek tamo gdje to dopuštaju pravila o onečišćenju.
Safirni optički prozori za zaštitu i filtriranje Pogledajte podloge od safirnog prozora koje nude otpornost na ogrebotine, visoku prozirnost i filtriranje valne duljine za lasere, fotodiode i komunikacijske sustave s optičkim vlaknima. Pogledajte proizvod → Što provjeriti prije naručivanja
Pet provjera hvata većinu problema prije nego što dosta toga stigne do vašeg inspekcijskog stola.
Ako je specifikacija dvosmislena, riješite je u fazi crtanja. Pošaljite svoj crtež i količinu našem inženjerskom timu i orijentacija, završna obrada i metoda pregleda mogu se popraviti prije ponude, a ne nakon isporuke.
Često postavljana pitanja
Je li pločica od safira isto što i prozor od safira?
Ne, naglasak je drugačiji. Pločica se ocjenjuje na temelju ukupne varijacije debljine, čistoće čestica i prednje površine spremne za epitaksiju, dok se prozor ocjenjuje na temelju prijenosa, kvalitete površine preko definiranog otvora i završne obrade rubova. Oba se mogu izrezati iz istog bula.
Mogu li se safirne pločice ponovno upotrijebiti?
Nosač i lažne pločice mogu se ponovno polirati nekoliko puta kada se kontaminacija kontrolira. Epi-ready vafli općenito ne mogu, jer se polirana površina i budžet za ravnost potroše u prvom ciklusu rasta.
Koju debljinu naručiti?
Pratite promjer. Oko 430 mikrometara na 2 inča, 650 na 4 inča i 1 mm ili više na 6 inča uobičajene su početne točke. Tanje pločice smanjuju toplinsku masu, ali povećavaju rizik od loma tijekom rukovanja i transporta.
Trebam li odsječak?
Za GaN uzgojen pomoću MOCVD-a na c-ravnini tipičan je mali odsjek od blizu 0,2 stupnja. Ako vaš proces nije osjetljiv na strukturu koraka, nominalnu pločicu na osi je lakše nabaviti i obično je jeftinija.
苏公网安备 32041102000130 号